株式会社成電工業

光学技術の可能性をさらに広げ
快適に暮らせる未来をつくる

私たちの身近に溶け込んでいる半導体技術。目には見えなくても、普段の暮らしを快適にする当社の技術があらゆるモノに詰まっています。長年蓄積された技術リソースを駆使し、さらに便利に、より快適な製品を生み出します。

PROCESS加工プロセス

ウエーハ加工

受入

01受入

・受入外観検査
・検査表確認
・厚さ測定 ・ロット編成
接着

02接着

・ワックスコート
・プレート貼付け
・ベーキング
研磨

03研磨

・研磨条件設定
・研磨
研削(ラップ)

04研削(ラップ)

・ラップ
・OP値測定
洗浄

05洗浄

・有機洗浄
・無機洗浄
・リンス ・乾燥
検査

06検査

・外観検査
・厚さ測定
・その他特性検査

チップ加工

成膜

01成膜

・成膜条件設定
・プレコート
・真空引き ・蒸着
リソグラフィー

02リソグラフィー

・レジストコート
・マスクアライメント
・露光 ・現像
ダイシング

03ダイシング

・シート接着
・ダイシング
・エキスパンド
エッチング

04エッチング

・酸エッチング
・アルカリエッチング
・リンス ・乾燥
測定

05測定

・電気特性測定 ・機械特性測定
・寿命特性測定 ・その他測定
検査

06検査

・外観検査
・厚さ測定
・その他特性検査

TECHNOLOGY要素技術

  • 研磨

    研磨

    ウエーハ表面のキズや加工歪みを除去し、平坦度の高い鏡面に仕上げるためにコロイダルシリカ液を用いて研磨処理をします。パッド・スラリー組成・研磨レートなどの組み合わせにより、最適な研磨条件をご提案します。

  • 成膜

    成膜

    真空状態にしたチャンバー内で、金属や金属酸化物などの成膜材料を加熱・蒸発後、基材や基盤の表面に蒸発した粒子を堆積させて薄膜を形成します。その後、ご希望の成膜仕様に合わせて独自の技術による最適な加工条件を選定し仕上げます。

  • ダイシング

    ダイシング

    ワーク表面の回路パターンに則してダイヤモンドブレードで切削加工します。仕様に応じて、ブレードの種類やテープ材質・速度・回転数などから最適な組み合わせをご提案します。フルカットのみならず、ハーフカットやステップカットなどにも対応しています。

  • エッチング

    エッチング

    ワーク表面の機械加工のダメージを取り除くためにエッチング処理を行います。またワーク表面の粗面化エッチングにも対応しています。

MATERIAL加工素材

  • 化合物材料

    化合物材料

  • 酸化物材料

    酸化物材料

  • シリコン材料

    シリコン材料

QUALITY品質保証

半導体事業部では2013年にウエーハ加工工程において、ISO9001:2013に基づいた品質マネジメントシステムを認証取得。2013年にはチップ加工においても同様の認証を取得しています。

ISO9001
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